M-SAP対応
アクアキューブコントローラー
AQCシリーズ
硫酸過水用自動制御装置 Cu/H2SO4/H2O2- めっき
- ハーフ・ソフトエッチング・
ラミネート前処理等 - 黒化処理代替
ブラウンオキサイド - 最終仕上げ処理
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液管理が難しい硫酸過水系薬液を
リアルタイムで測定可能 -
硫酸過水系薬液について、世界で初めてリアルタイムな濃度測定を可能にしました。これにより、ドライフィルム前処理の密着不良や、表面処理の銅厚のバラつきが改善され、高多層化・高微細基板生産が可能となります。
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- 生産性
UP - 生産安定性
UP - 品質安定性
UP - リアルタイム
表示
- 生産性
製品特長
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生産状況をいつでも確認
ロガー機能で生産時の変化や安定性をすぐに確認し、迅速に生産現場にフィードバックでき、製造責任者も安心です。
ここが独自の特長
- 濃度検出部
- 高精度・高安定
- ダイレクト&リアルタイム測定
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薬液濃度を安定維持
濃度変動幅の比較
濃度管理をせず定量補給の場合、濃度が不安定になり、製品品質も安定しないことが分かります。
- 濃度無管理
- アクアキューブで濃度管理
濃度無管理とアクアキューブ管理の違い
アクアキューブコントローラーで濃度管理すれば薬液濃度が非常に安定し、製品の品質も高まります。
製品仕様
対応薬液 | Cu/H2SO4/H2O2 |
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型式 | AQC-2 |
各工程 | 過酸化水素+硫酸+銅の各化学表面処理工程 |
濃度仕様 | Cu/H2SO4/H2O2 |
表示装置 | 12インチLCD表示 |
電源電圧 | AC100V/200V 50/60Hz |
外形寸法(mm)・重量 | 400(W)×1200(H)×500(D) 30kg |
※上記以外の他薬液にも対応可能
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