M-SAP対応
アクアアクセスコントローラー
Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
現像用NAC14000、剥離用NAC13000
薬液自動制御装置Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
- 現 像
- 剥離/剥膜
- ソルダー現像
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高精度な現像液管理により
高微細基板が製造可能に -
高細線化には現像工程が最重要です。アクアアクセスコントローラーなら、FILM濃度±0.5g/Lの安定した現像液管理を実現。高微細基板を製造可能にします。
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- 生産性
UP - 生産安定性
UP - 品質安定性
UP - リアルタイム
表示
- 生産性
製品特長
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ファインパターンに対応
高精度薬液制御無しにファインパターンは実現できません。アクアアクセスコントローラーを使えばFILM濃度±0.5g/Lの管理が可能に。現像仕上がりが綺麗だから、細線エッチングも良好にできます。
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生産状況をいつでも確認
ロガー機能で生産時の変化や安定性をすぐに確認し、迅速に生産現場にフィードバックでき、製造責任者も安心です。
ここが独自の特長
- 各種センサー
- 高精度・高安定
- 小型・軽量
- ダイレクト&リアルタイム測定
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測定フロー・現像/剥離液によるメリット
現像仕上がり幅 バラツキ(σ)
リアルタイム高制御により、現像の仕上がりが大幅に安定します。
製品仕様
対応薬液 | Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH | |
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型式 | 現像用 NAC14000 | 剥離用 NAC13000 |
濃度仕様 | Na2CO3/K2CO3/TMAH 等 | NaOH/KOH/TMAH 等 |
表示装置 | 12インチLCD表示 | 12インチLCD表示 |
電源電圧 | DC24V | DC24V |
外形寸法(mm)・重量 | 328(W)×225(H)×99(D) 約4.3kg | 328(W)×225(H)×99(D) 約4.3kg |
※上記以外の他薬液にも対応可能
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