アクアアクセスコントローラー
CuCl2(H2O2)/FeCl3/CuCl2(NaClO3)
NAC-7000、9000、10000シリーズ
エッチングコントローラーCuCl2(H2O2)/FeCl3/CuCl2(NaClO3)
- エッチング
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品質・生産性を安定させ
常に適正な濃度にコントロール -
自社独自の高精度センサーと高制御コントローラーにより、エッチング工程での生産性・品質・コストを適正にコントロールする圧倒的な能力を備えています。
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- 生産性
UP - 生産安定性
UP - 品質安定性
UP - リアルタイム
表示
- 生産性
製品特長
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ファインパターンに対応
高精度薬液制御無しにファインパターンは実現できません。アクアアクセスコントローラーを使えばHCl±0.05M/Lの高制御管理が可能です。
現像後 
エッチング後
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生産状況をいつでも確認
ロガー機能で生産時の変化や安定性をすぐに確認し、迅速に生産現場にフィードバックでき、製造責任者も安心です。
ここが独自の特長
- 各種センサー
- 高精度・高安定
- 小型・軽量
- ダイレクト＆リアルタイム測定
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ライン稼働率をアップ
高精度センサーとコントローラーにより、安定した薬液状態を維持できるため、エッチング装置の条件出しなどにかかる時間が大幅に短縮されます。また、センサー不具合等による薬液濃度異常発生等のトラブルも無くなり、常に安定した状態で生産できます。
- 約1ヶ月（25日間）で
処理できた処理量（m²）の比較 -
- 約1ヶ月（25日間）で
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製品回路幅の仕上がりが常に安定
回路幅のバラつきが大幅に改善され、不良等の低減につながります。
現像仕上がり幅 バラツキ（σ）
エッチングされたパターン幅のバラツキを比較
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薬液使用量の削減
薬液濃度安定化により、薬液の使用量が削減できます。
アクアコントローラーを使用した方が
安定度が上がります。- 5,000m²（平均銅厚35um×両面版）処理での薬液使用量比較
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接続フロー図
薬液濃度を個別にリアルタイム計測。生産の条件・量・稼働状況に合わせたパラメーター制御が可能です。LANによる通信機能も備えており、ネットワーク環境で制御データをパソコンでモニタリング可能。そのほか、拡張機能があり、センサーの追加や機能追加等もできます。
製品仕様
| 対応薬液 | CuCl2(H2O2)/FeCl3/CuCl2(NaClO3) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | NAC-7100/7200/7110 | NAC-9100/9200/9110 | NAC11000/12000/11100 | ||
| 表示装置 | 10インチLCD表示 | 10インチLCD表示 | 12インチLCD表示 | ||
| 表示範囲 | SG | 1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600 |
1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600 |
1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600 |
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| HCl | 0.00-6.00m/L | 0.00-6.00m/L | 0.000-6.000m/L | ||
| H2O2 FeCl3 NaClO3 |
0.00-100.0 | 0.00-100.0 | 0.00-100.00 | ||
| TEMP | 0.00-100.0 | 0.00-100.0 | 0.00-100.00 | ||
| 測定精度 | 測定可能フルスケールの3%以内 | ||||
| 制御出力 | ポンプ制御出力・上下限警報出力・無電圧接点リレー出力・TTL出力 等 | ||||
| 電源電圧 | DC 24V | ||||
| 外形寸法（mm）・重量 | 310（W）×210（H）×99（D） 約4.3kg | 328（W）×225（H）×99（D） 約4.3kg | |||
| P制御 | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ||
| 薬品予測投入 | △（オプション） | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ||
| パラメーターバンク | △（オプション） | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ||
| グラフ機能 | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ○（標準仕様） | ||
| ロガー通信機能 | × | × | ○（標準仕様） | ||
| その他通信機能（RS通信／UDP通信） | × | △（オプション） | △（オプション） | ||
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