产品信息 PRODUCTS

M-SAP对应 AQUA CUBE CONTROLLER

AQC series

硫酸双氧水用自动控制装置 Cu/H2SO4/H2O2
  • 电 镀
  • 半蚀、表面微蚀、
    贴合前处理等
  • 黑化处理替代
    棕化处理
  • 最终处理

针对难以管控的
硫酸双氧水药液亦能够实时测定

世界首发,能够针对硫酸双氧水药液进行实时浓度测定。
由此,改善干膜前处理的密着不良或表面处理中铜厚误差,能够生产出多层化、高细微基板。

  • 生产性
    UP
  • 生产安定性
    UP
  • 质量安定性
    UP
  • 实时显示
簡易分析器 mini LABO 能夠於各製程進行快速分析 产品图像

产品功能

  • 随时确认生产状况

    使用AQUA Logger功能立即确认生产时的变化与稳定性,能迅速回报至产线,让现场负责人安心。

    能夠以AQUA CUBE、PC進行管理
    此处为独特的特长
    浓度检测部
    高精密、高稳定
    直观&实时测定
    产品图像
  • 安定维持药液浓度
    浓度变动幅宽的比较

    浓度无管理,定量补给之状况,浓度不稳定,产品质量亦无法保证。

    浓度无管理
    浓度无管理
    AQUA CUBE浓度管理
    AQUA CUBE浓度管理
    浓度无管理与AQUA CUBE管理的差异

    以AQUA CUBE控制器进行浓度管理可以使药液浓度非常稳定,并提升产品质量。

    成型线宽偏差的比较(σ)
    成型线宽偏差的比较(σ)

产品规格

对应药业 Cu/H2SO4/H2O2
型式 AQC-2
各制程 双氧水+硫酸+铜 各种化学表面处理制程
浓度规格 Cu/H2SO4/H2O2
显示设备 12英寸LCD显示
电源电压 AC100V/200V 50/60Hz
外形尺寸(mm)、重量 400(W)×1200(H)×500(D) 30kg

*上记以外的其他药液亦能够对应

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