M-SAP对应
AQUA AQCESS CONTROLLER
Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
显影用NAC14000 / 剥离用NAC13000
药液自动控制装置Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
- 显 影
- 剥离 / 剥膜
- 防焊显影
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由高精度显影管理
生产出高精密基板 -
显影制程对高度细线化是一大重点。若使用AQUA AQCESS 控制器能实现FILM浓度±0.5g/L的稳定显影液管理，进而生产出高精密基板。
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- 生产性
UP - 生产安定性
UP - 质量安定性
UP - 实时显示
- 生产性
产品功能
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对应细线路
高精度的药液控制在细线路上是不可或缺的。使用AQUA AQCESS 控制器能够对FILM浓度进行±0.5g/L之高度管理。显影成品优异，细线路蚀刻状态优良。
显影后画像 
蚀刻后
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随时确认生产状况
使用AQUA Logger功能立即确认生产时的变化与稳定性，能迅速回报至产线，让现场负责人安心。
此处为独特的特长
- 各种传感器
- 高精密、高稳定
- 小型、轻量
- 直观&实时测定
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测定流程、显影/剥离液达成的优点
显影成形宽幅误差（σ）
根据实时高性能控制，可大幅稳定显影的成型。
产品规格
| 对应药业 | Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH | |
|---|---|---|
| 型式 | 显影用 NAC14000 | 剥离用 NAC13000 |
| 浓度规格 | Na2CO3/K2CO3/TMAH 等 | NaOH/KOH/TMAH 等 |
| 显示设备 | 12英寸LCD显示 | 12英寸LCD显示 |
| 电源电压 | DC24V | DC24V |
| 外形尺寸（mm）、重量 | 328（W）×225（H）×99（D） 4.3kg | 328（W）×225（H）×99（D） 4.3kg |
＊上记以外的其他药液亦能够对应
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