蚀刻控制器 NAC-7000 / 9000 / 10000 series | 产品信息

使质量、生产性稳定， 将浓度控制在适当的范围

由自己公司独门高精密传感器与高性能控制器，对蚀刻制程的生产性、质量、成本进行适当的控制，具备压倒性优异的能力。

对应细线路
高精度的药液控制在细线路上是不可或缺的。使用AQUA AQCESS 控制器能够对HCl进行±0.05M/L的高度控制。
- 显影后
- 蚀刻后
随时确认生产状况

使用AQUA Logger功能立即确认生产时的变化与稳定性，能迅速回报至产线，让现场负责人安心。

此处为独特的特长

各种传感器

高精密、高稳定

小型、轻量

直观&实时测定
产线稼动率UP

由高精密传感器与控制器，能够维持稳定的药液状态可大幅缩短蚀刻装置取得生产条件的时间。此外，排除传感器不良等造成之药液浓度异常，使生产状态稳定。

约1个月（25天）
处理量m²之比较
产品线宽的成形稳定

线宽误差大幅改善，降低不良

显影成形宽幅误差（σ）

蚀刻后线宽的偏差比较
降低药液使用量

由药液浓度稳定化，降低药液使用量

使用AQUA控制器
可提高稳定度。

5,000m²（平均铜厚35um 双面板）处理之
药液使用量比较
连接流程图

药液浓度各别的实时测量。能综合生产条件、量、稼动状况进行参数控制。具备LAN通讯功能，可用工作网把控制数据传输到PC进行监控。此外，具备传感器追加等扩充功能。

对应药业		CuCl₂(H₂O₂)/FeCl₃/CuCl₂(NaClO₃)
型式		NAC-7100/7200/7110	NAC-9100/9200/9110	NAC11000/12000/11100
显示设备		10英寸LCD显示	10英寸LCD显示	12英寸LCD显示
显示范围	SG	1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600	1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600	1.100-1.400/1.500/ 1.200-1.600
	HCl	0.00-6.00m/L	0.00-6.00m/L	0.000-6.000m/L
	H₂O₂ FeCl₃ NaClO₃	0.00-100.0	0.00-100.0	0.00-100.00
TEMP		0.00-100.0	0.00-100.0	0.00-100.00
测定精度		测定范围3%以内
控制輸出		泵浦控制输出、上下限警报输出、无电压接点中继输出、TTL输出等
电源电压		DC 24V
外形尺寸（mm）、重量		310（W）×210（H）×99（D） 4.3kg		328（W）×225（H）×99（D） 4.3kg
P控制		○（标准规格）	○（标准规格）	○（标准规格）
药品预测投入		△（选配追加）	○（标准规格）	○（标准规格）
参数库		△（选配追加）	○（标准规格）	○（标准规格）
图表功能		○（标准规格）	○（标准规格）	○（标准规格）
Logger 通讯功能		×	×	○（标准规格）
其他通讯功能（RS通讯／UDP通讯）		×	△（选配追加）	△（选配追加）

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